應用案例 | 化學過濾器在電子行業的應用

      發布者:中建南方時間:2022-06-23

      在集成半導體器件、微電子等高科技企業,隨著產品工序復雜性的增加和產品制程線寬的縮小,空氣中的氣態分子污染物(以下簡稱AMC)常會引起產品的成品率下降、性能退化及失效。



      國際半導體設備和材料協會在SEMI F21-95、F21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標準適用于半導體業的潔凈環境,指定了4個“標準范圍”:酸(MA),堿(MB),冷凝物(MC)及雜質(MD),如下表:




      AMC的危害,以電路板為例:電路板中最常見的化學故障是銅蠕變腐蝕和表面安裝組件中的鍍銀腐蝕,含硫氣體和濕氣能腐蝕電路板上所有暴露在外的鍍銅,生成的硫化銅能夠引起電路板蠕變,并會造成臨近的相隔功能部件短路。同時含硫氣體能腐蝕銀,并生成硫化銀;硫化銀大量聚集后會產生機械壓力,破壞封裝的完整性,導致發生進一步的腐蝕,直到部件中的所有銀全都耗盡,最終導致斷路。




      在潔凈室中,污染不僅包括嚴格意義上的灰塵微粒,還包括有任何干擾作用的固體、液體、氣體、熱、電磁等。潔凈室中大都裝有高效過濾器或超高效過濾器,它們對于控制0.5微米以上的粒子非常有效,但是對于小分子的AMC卻并沒有很好的效果,且過濾方式為傳統的物理過濾方式,有二次污染的風險,這就需要用到化學過濾器,這與化學過濾器的工作原理密不可分。


      化學過濾器有選擇的吸附有害氣體分子,而不是像普通的過濾器那樣機械的“過濾”雜質,如空氣中的異味、腐蝕氣體、有毒氣體等。


      化學過濾器通常采用活性炭、活性氧化鋁、離子交換樹脂等凈化媒介作為過濾材料。中建南方提供多種化學過濾產品,通過合理的配置達到去除污染物的最佳效果。

       


      不同行業的不同場所對氣態污染物凈化后的濃度要求不同,在半導體、微電子等行業,使用化學過濾器可有效去除“分子級污染物”,保護敏感的電子系統、印刷電路板制造不受酸性氣體、濕氣的影響,提高產品質量,提升產品良率,同時保護工作人員健康。


      中建南方擁有多款不同類型的化學過濾器,能有效降低環境中AMC濃度,可根據您的空間跟實際需求,為您提供合適的空氣凈化方案。


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